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特種氣體
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甲矽烷

  • 時   間 2016-3-19 15:33:05
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1857年德國化學家H Buff發現矽烷,在以後的100年左右的時間裡矽烷隻是少數研究者在實驗室裡研究的對象,沒有任何用途。20世紀50年代半導體科技崛起,人們開始考慮矽烷的特長,矽烷開始在電子工業中得到應用。進入80年代, 矽烷的應用情況發生了重大變化。随着一系列技術的出現或者說利用矽烷開發新産品的成功,矽烷用量急劇增加。每年數以千噸計的矽烷在工廠裡被加工成超純半導體矽,數以百噸計的氣體被用于制造各種各樣的新材料和新器件。考慮到在這些應用中大多數器件每個所耗用的氣體量隻有毫克甚至微克,由矽烷制成的薄膜厚度都是微米數量級,可見上述矽烷量不是一個小的數字。進入90年代, 更大量的新功能器件問世,其中已大規模開發的有超高速、超大容量計算機芯片、高清晰度平面顯示器、太陽能電池、高性能陶瓷發動機零件、各種特異功能的傳感器等等,更多更新的器件還在湧現,這些器件都要用到矽烷。


矽烷之所以在高科技中被廣泛應用并且越來越重要, 首先是與它的特性有關,同時也與現代高技術的特殊需求有關。通過熱分解或與其它氣體的化學反應,可由矽烷制得單晶矽、多晶矽、非晶矽、金屬矽化物、氮化矽、碳化矽、氧化矽等一系列含矽物質。利用矽烷可以實現純度、最精細(可達原子尺寸)的控制和最靈活多變的化學反應。從而将各種含矽材料按各種需要制成複雜精細的結構, 這正是現代具有各種特異功能的材料和器件所要求的基本條件。

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